박준홍 램리서치코리아 대표. /

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박준홍 램리서치코리아 대표. / 사진 = 배태용 기자[디지털데일리 배태용 기자] 램리서치가 차세대 반도체 제조 공정의 고난도 식각 기술 요구에 대응하기 위한 새로운 해법으로 'Akara(아카라)'를 꺼내 들었다. GAA(게이트 올 어라운드), 3D DRAM, CFET 등 1D 공정 시대로의 진입에 핵심 역할을 할 장비로, 고정밀·고균일 식각 성능을 구현, 차세대 적층 정밀도를 확보하겠다는 구상이다.5일 램리서치는 서울 강남서 '램리서치 Akara 미디어 테크'를 열고 자사의 차기 식각 장비를 소개했다. 박준홍 램리서치코리아 대표는 "식각 기술은 반도체 미세화 한계 극복의 핵심 요소이며, 특히 GAA, 4F² DRAM, 3D DRAM과 같은 수직 구조 공정에선 더 이상 선택이 아닌 필수"라고 강조했다. Akara의 개발 배경을 "기존의 베스트셀러 장비인 '키요(Kiyo)'가 커버하지 못하는 차세대 정밀 식각 수요를 대응하기 위한 것"이라고 설명했다.실제로 Akara는 GAA 트랜지스터, 고층 3D NAND, 고속 DRAM 등에서 필요한 고종횡비 식각을 지원하며, 향후 4F² DRAM, 3D DRAM, CFET와 같은 차세대 노드에도 확장 적용이 가능하다. 박 대표는 "Akara는 이미 일부 고객사의 GAA 및 DRAM 양산 공정에 도입돼 사용되고 있으며, R&D와 양산 모두를 아우르는 장비로 자리 잡고 있다"고 말했다.Akara의 핵심 기술은 ▲솔리드 스테이트 플라즈마 소스인 '다이렉트드라이브(DirectDrive)' ▲웨이퍼 손상을 최소화하는 '템포(TEMPO)' ▲에너지 조절 기반 원자 단위 식각 제어 'SNAP' 등 세 가지로 요약된다. 조상준 램리서치코리아 부사장은 "기존 RF 플라즈마 방식 대비 반응 속도가 100배 이상 빠르며, 수 마이크로미터 단위의 수직 구조를 수백 번 반복해도 균일한 품질을 유지할 수 있다"고 설명했다.특히 DirectDrive는 기존 방식과 달리 매칭 네트워크 없이 플라즈마를 빠르게 형성해 식각 신뢰성을 높이는 방식이다. 조 부사장은 "기존 장비가 형광등처럼 깜빡이며 안정화된다면, DirectDrive는 스위치만 켜면 즉시 점등되는 LE박준홍 램리서치코리아 대표. / 사진 = 배태용 기자[디지털데일리 배태용 기자] 램리서치가 차세대 반도체 제조 공정의 고난도 식각 기술 요구에 대응하기 위한 새로운 해법으로 'Akara(아카라)'를 꺼내 들었다. GAA(게이트 올 어라운드), 3D DRAM, CFET 등 1D 공정 시대로의 진입에 핵심 역할을 할 장비로, 고정밀·고균일 식각 성능을 구현, 차세대 적층 정밀도를 확보하겠다는 구상이다.5일 램리서치는 서울 강남서 '램리서치 Akara 미디어 테크'를 열고 자사의 차기 식각 장비를 소개했다. 박준홍 램리서치코리아 대표는 "식각 기술은 반도체 미세화 한계 극복의 핵심 요소이며, 특히 GAA, 4F² DRAM, 3D DRAM과 같은 수직 구조 공정에선 더 이상 선택이 아닌 필수"라고 강조했다. Akara의 개발 배경을 "기존의 베스트셀러 장비인 '키요(Kiyo)'가 커버하지 못하는 차세대 정밀 식각 수요를 대응하기 위한 것"이라고 설명했다.실제로 Akara는 GAA 트랜지스터, 고층 3D NAND, 고속 DRAM 등에서 필요한 고종횡비 식각을 지원하며, 향후 4F² DRAM, 3D DRAM, CFET와 같은 차세대 노드에도 확장 적용이 가능하다. 박 대표는 "Akara는 이미 일부 고객사의 GAA 및 DRAM 명의 양산 공정에 도입돼 사용되고 있으며, R&D와 양산 모두를 아우르는 장비로 자리 잡고 있다"고 말했다.Akara의 핵심 기술은 ▲솔리드 스테이트 플라즈마 소스인 '다이렉트드라이브(DirectDrive)' ▲웨이퍼 손상을 최소화하는 '템포(TEMPO)' ▲에너지 조절 기반 원자 단위 식각 제어 명의 'SNAP' 등 세 가지로 요약된다. 조상준 램리서치코리아 부사장은 "기존 RF 플라즈마 방식 대비 반응 속도가 100배 이상 빠르며, 수 마이크로미터 단위의 수직 구조를 수백 번 반복해도 균일한 품질을 유지할 수 있다"고 설명했다.특히 DirectDrive는 기존 방식과 달리 매칭 네트워크 없이 플라즈마를 빠르게 형성해 식각 신뢰성을 높이는 방식이다. 조 부사장은 "기존 장비가 형광등처럼 깜빡이며 안정화된다면, DirectDrive는 스위치만 켜면 즉시 점등되는 LED와 같다"며 "이온의 에너지를 안정적으로 제어해 초고속 공정 반복에서도 높은 예측성과 재현성을 갖는다"라고 비유했다.조상준 램리서치코리아 부사장. / 사진 = 배태용 기자TEMPO는 마이크로초 단위가 아닌 1초 단위의 느린 펄싱을 적용해, 마스크 손상을 최소화하면서 하부 구조 식각 정확도를 확보할 수 있도록 설계됐다. 조 부사장은 "우물 바닥의 얼음을 깨는 데 있어 자동차 유리에
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25-06-06 01:11

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박준홍 램리서치코리아 대표. / 사진 = 배태용 기자[디지털데일리 배태용 기자] 램리서치가 차세대 반도체 제조 공정의 고난도 식각 기술 요구에 대응하기 위한 새로운 해법으로 'Akara(아카라)'를 꺼내 들었다. GAA(게이트 올 어라운드), 3D DRAM, CFET 등 1D 공정 시대로의 진입에 핵심 역할을 할 장비로, 고정밀·고균일 식각 성능을 구현, 차세대 적층 정밀도를 확보하겠다는 구상이다.5일 램리서치는 서울 강남서 '램리서치 Akara 미디어 테크'를 열고 자사의 차기 식각 장비를 소개했다. 박준홍 램리서치코리아 대표는 "식각 기술은 반도체 미세화 한계 극복의 핵심 요소이며, 특히 GAA, 4F² DRAM, 3D DRAM과 같은 수직 구조 공정에선 더 이상 선택이 아닌 필수"라고 강조했다. Akara의 개발 배경을 "기존의 베스트셀러 장비인 '키요(Kiyo)'가 커버하지 못하는 차세대 정밀 식각 수요를 대응하기 위한 것"이라고 설명했다.실제로 Akara는 GAA 트랜지스터, 고층 3D NAND, 고속 DRAM 등에서 필요한 고종횡비 식각을 지원하며, 향후 4F² DRAM, 3D DRAM, CFET와 같은 차세대 노드에도 확장 적용이 가능하다. 박 대표는 "Akara는 이미 일부 고객사의 GAA 및 DRAM 양산 공정에 도입돼 사용되고 있으며, R&D와 양산 모두를 아우르는 장비로 자리 잡고 있다"고 말했다.Akara의 핵심 기술은 ▲솔리드 스테이트 플라즈마 소스인 '다이렉트드라이브(DirectDrive)' ▲웨이퍼 손상을 최소화하는 '템포(TEMPO)' ▲에너지 조절 기반 원자 단위 식각 제어 'SNAP' 등 세 가지로 요약된다. 조상준 램리서치코리아 부사장은 "기존 RF 플라즈마 방식 대비 반응 속도가 100배 이상 빠르며, 수 마이크로미터 단위의 수직 구조를 수백 번 반복해도 균일한 품질을 유지할 수 있다"고 설명했다.특히 DirectDrive는 기존 방식과 달리 매칭 네트워크 없이 플라즈마를 빠르게 형성해 식각 신뢰성을 높이는 방식이다. 조 부사장은 "기존 장비가 형광등처럼 깜빡이며 안정화된다면, DirectDrive는 스위치만 켜면 즉시 점등되는 LE박준홍 램리서치코리아 대표. / 사진 = 배태용 기자[디지털데일리 배태용 기자] 램리서치가 차세대 반도체 제조 공정의 고난도 식각 기술 요구에 대응하기 위한 새로운 해법으로 'Akara(아카라)'를 꺼내 들었다. GAA(게이트 올 어라운드), 3D DRAM, CFET 등 1D 공정 시대로의 진입에 핵심 역할을 할 장비로, 고정밀·고균일 식각 성능을 구현, 차세대 적층 정밀도를 확보하겠다는 구상이다.5일 램리서치는 서울 강남서 '램리서치 Akara 미디어 테크'를 열고 자사의 차기 식각 장비를 소개했다. 박준홍 램리서치코리아 대표는 "식각 기술은 반도체 미세화 한계 극복의 핵심 요소이며, 특히 GAA, 4F² DRAM, 3D DRAM과 같은 수직 구조 공정에선 더 이상 선택이 아닌 필수"라고 강조했다. Akara의 개발 배경을 "기존의 베스트셀러 장비인 '키요(Kiyo)'가 커버하지 못하는 차세대 정밀 식각 수요를 대응하기 위한 것"이라고 설명했다.실제로 Akara는 GAA 트랜지스터, 고층 3D NAND, 고속 DRAM 등에서 필요한 고종횡비 식각을 지원하며, 향후 4F² DRAM, 3D DRAM, CFET와 같은 차세대 노드에도 확장 적용이 가능하다. 박 대표는 "Akara는 이미 일부 고객사의 GAA 및 DRAM

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양산 공정에 도입돼 사용되고 있으며, R&D와 양산 모두를 아우르는 장비로 자리 잡고 있다"고 말했다.Akara의 핵심 기술은 ▲솔리드 스테이트 플라즈마 소스인 '다이렉트드라이브(DirectDrive)' ▲웨이퍼 손상을 최소화하는 '템포(TEMPO)' ▲에너지 조절 기반 원자 단위 식각 제어

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'SNAP' 등 세 가지로 요약된다. 조상준 램리서치코리아 부사장은 "기존 RF 플라즈마 방식 대비 반응 속도가 100배 이상 빠르며, 수 마이크로미터 단위의 수직 구조를 수백 번 반복해도 균일한 품질을 유지할 수 있다"고 설명했다.특히 DirectDrive는 기존 방식과 달리 매칭 네트워크 없이 플라즈마를 빠르게 형성해 식각 신뢰성을 높이는 방식이다. 조 부사장은 "기존 장비가 형광등처럼 깜빡이며 안정화된다면, DirectDrive는 스위치만 켜면 즉시 점등되는 LED와 같다"며 "이온의 에너지를 안정적으로 제어해 초고속 공정 반복에서도 높은 예측성과 재현성을 갖는다"라고 비유했다.조상준 램리서치코리아 부사장. / 사진 = 배태용 기자TEMPO는 마이크로초 단위가 아닌 1초 단위의 느린 펄싱을 적용해, 마스크 손상을 최소화하면서 하부 구조 식각 정확도를 확보할 수 있도록 설계됐다. 조 부사장은 "우물 바닥의 얼음을 깨는 데 있어 자동차 유리에